檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="薄膜"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
隨者電子產業的進步,傳統型金氧半電晶體在微型化之後面臨一些可靠度問題,例如短通道效應、熱載子效應、閘極引起位障降低效應。穿隧型場效電晶體在高度微型化可以提供較小的短通道效應、小的熱載子效應以及降低閘…
2
本研究探討以離子束濺鍍法,沉積摻鉺氧化鋅薄膜(Erbium-doped ZnO, EZO)之特性。我們以層狀方式沉積EZO薄膜,藉退火使鉺與氧化鋅混合。實驗中,成功的以325 nm之He-Cd雷射,…
3
本研究利用反應式離子束濺鍍法沉積氧化鈷與摻銅氧化鈷薄膜,改變氧氣/氬氧的流量比例(Opf = O2/(Ar+O2))及沉積溫度,探討製程參數對氧化鈷及摻銅氧化鈷之影響。研究結果顯示在室溫下所沉積之樣…